更新時(shí)間：2024-03-14
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廠商性質(zhì)：經(jīng)銷(xiāo)商
生產(chǎn)地址：
| 品牌 | 中國(guó)計(jì)量科學(xué)研究院 | 供貨周期 | 現(xiàn)貨 |
|---|---|---|---|
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 |
GaAs/AIAs 超晶格多層膜膜厚標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)可用于與多個(gè)厚度尺寸相關(guān)的設(shè)備校準(zhǔn)，包括表面分析設(shè)備，如俄歇電子光譜儀、X 射線光電能譜儀及二次離子質(zhì)譜儀的濺射速率校準(zhǔn);以及用于透射電鏡
樣品制備RM 的 10 萬(wàn)倍到 30 萬(wàn)倍的中倍放大倍率校準(zhǔn)。
家采用分子束外延生長(zhǎng)方法，在 GaAs(100)基底上生長(zhǎng)每層膜厚名義量值為 10 nm 的 GaAs/AIAs 超晶格3周期，切割為 20 mm x20 mm 的正方形，經(jīng)定值測(cè)量后采用鋁箔包裝袋真空包裝。org.c
二、溯源性及定值方法
采用掠入射 X 射線反射技術(shù)為樣品定值，此設(shè)備為計(jì)量校準(zhǔn)裝置，角度溯源至多齒分度臺(tái)標(biāo)準(zhǔn)裝置，入射光波長(zhǎng)溯源至單晶硅晶格參數(shù)。通過(guò)使用滿(mǎn)足計(jì)量學(xué)特性要求的測(cè)量方法和計(jì)量器具保證其量值溯源性。
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